Dieses Härteverfahren ist besonders geeignet für stark verzugsempfindliche Präzisionsbauteile. Als Abschreckmedium wird Stickstoff eingesetzt.Neben der Verzugsarmut zeichnen sich im Vakuum gehärtete Werkstücke durch ihre metallisch blanke Oberfläche aus, da Oxidationen im Vakuum nicht stattfinden.