Das Plasmanitrieren ist ein Verfahren, das sich die Eigenschaften des Gasplasmas, also eines ionisierten Gases, zu Nutze macht.

Der Vorteil ist, dass eine geringe Prozesstemperatur von etwa 500 °C gut dafür geeignet ist und es dadurch keinen Abfall der Grundhärte bei gehärtetem Stahl gibt. Eine weitere Besonderheit ist, dass beim Plasmanitrieren sogar Sinterstähle mit hoher Porosität sowie Gusseisen und hochlegierte Werkzeugstähle behandelt werden können.

Sehr oft kommt dieses Verfahren vor der Beschichtung mit PVD oder CVD zum Einsatz, da sich beim Plasmanitrieren die Möglichkeit zur Bildung einer Diffusionsschicht ohne Verbindungsschicht ergibt.